Основи мікросенсорики

Автор - Родіонов Ю. А.

Розглянуто основні твердотільні датчики, що застосовуються переважно у наукомістких областях (точна механіка та оптика, мікро- та наноелектроніка, атомна енергетика, військова справа): датчики на основі гальваномагнітних ефектів, датчики тиску, температури та теплового випромінювання, швидкості та прискорення, газоаналізатори, датчики вологості, зображення, детектори радіоактивного випромінювання, актюатори та сенсори вакуумно-плазмових технологій, що забезпечують високу якість продукції при виготовленні зазначених датчиків. Для студентів, які навчаються за спеціальністю 11.00.00 «Електроніка, радіотехніка та системи зв'язку», а також інженерів, які зайняті проектуванням та обслуговуванням електронних приладів.